同時具有高速排氣和低消耗電力特點的干泵。有4個機種可供選擇,根據設備的大小、使用條件等可選擇條件最適合的排氣量干泵。
CR系列VerB為取得國際標準的空冷式工具型干泵。由于排氣室中不使用油,轉子和圓筒為非接觸運轉,可長時間穩定運轉。
GR系列是基于擁有大量實績和信賴性的LR/HR系列,面向一般產業設計的構造較為簡單的干泵。
?LR/HR/UR系列
LR/HR/UR系列采用獨自開發的高溫均熱化技術,有效利用壓縮熱,實現了在CVD、刻蝕等的硬件工藝的 高耐久性。在產線工藝上,和ECO-SHOCK一起使用,可實現降低最大80%的消耗電力。 此外,高維修性能和低噪音,可對應全機種CE(可選項)。 可進一步了解ECO-SHOCK詳細情況。
干泵節能適配器ECO-SHOCK ES10
ECO-SHOCK適配器配合選擇使用的干泵,可實現大幅度節省電力能源。
干泵節能適配器ECO-SHOCK ES4A
ECO-SHOCK是一種配合干泵使用可實現大幅降低消耗電能的適配器。
ES4A需要在裝載室頻繁取出放入的情況下,或者像渦輪分子泵那樣達到壓力需要長時間運轉的前級干泵的電能削減是最合適的。